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国家知识产权局信息数据显现,英飞凌科技奥地利有限公司请求一项名为“晶体管器材和制备晶体管器材的栅极的办法”的专利,公开号CN121793409A,请求日期为2021年2月。
专利摘要显现,公开了晶体管器材和制备晶体管器材的栅极的办法。在施行例中,晶体管器材包含具有主外表的半导体衬底、包含多个晶体管单元的单元场、以及在横向上环绕单元场的边际停止区。单元场包含在半导体衬底的主外表中的栅极沟槽、衬垫栅极沟槽的栅极电介质、被安置在栅极沟槽中在栅极电介质上的金属栅极电极、以及被安置在金属栅极电极上并且在栅极沟槽内的电绝缘封盖。
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